这篇文章主要报道了北京北方华创微电子装备有限公司在2023年10月申请的一项名为“半导体工艺方法及半导体工艺设备”的专利相关情况,同时介绍了该公司的基本情况,包括成立时间、所在地区、注册资本、对外投资、招投标、商标与专利信息以及行政许可数量等。
据金融界2025年5月2日消息,从国家知识产权局得到的信息表明,北京北方华创微电子装备有限公司申请了一项名为“半导体工艺方法及半导体工艺设备”的专利,其公开号为CN119905398A,申请日期是2023年10月。
专利摘要显示,此项申请公开的是一种半导体工艺方法以及半导体工艺设备,这与半导体领域息息相关。就半导体工艺方法而言,其是用于通过工艺药液对处于工艺腔体内的晶圆进行工艺处理的。具体来说,这种半导体工艺方法包含了几个重要步骤:首先是制备出浓度为第一浓度且温度为第一温度的工艺药液;接着把工艺腔体内的压力从常压增大到预设压力,同时将工艺药液从第一温度升高到第二温度;最后通过经过加压、加热后的工艺药液对工艺腔体内的晶圆进行工艺处理。这一申请至少能够解决在磷酸药液中温度与含水量无法达到平衡的问题,这种不平衡往往会导致工艺效率低下或者出现诸如跳片、破片等现象。
天眼查的资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司成立于2001年,公司位于北京市,主要从事电气机械和器材制造业。该企业的注册资本达到114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析发现,北京北方华创微电子装备有限公司总共对外投资了7家企业,参与的招投标项目多达1028次。在财产线索方面,其拥有61条商标信息、5000条专利信息,除此之外,企业还拥有340个行政许可。
本文总结了北京北方华创微电子装备有限公司的一项半导体工艺专利申请情况,包括专利的申请日期、内容及意义,同时也介绍了该公司的基本概况,如成立时间、注册资本、业务范围、对外投资、招投标情况以及商标、专利和行政许可数量等方面的信息。
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